匹配器的保护电路及等离子体产生装置

本申请公开了匹配器的保护电路及等离子体产生装置，本申请涉及匹配器技术领域，匹配器的保护电路包括：检测电路，检测电路与阻抗匹配器电连接，检测电路用于获取阻抗匹配器当前的状态参数，输出对应的检测信号；保护控制电路，保护控制电路的受控端与检测电路的输出端连接，保护控制电路用于根据检测信号，控制阻抗匹配器的电源通断或限制输出至阻抗匹配器的电流。本申请使得匹配器在面临大电压、冲击电流等异常情况时能够稳定运行，避免电路受损。