摘要
本发明公开了一种非线性补偿的高精度双波长扫频干涉测距方法。其中,该方法包括通过双扫频干涉绝对距离测量系统分别获取两个扫频激光光源的测量干涉信号和辅助干涉信号;基于泰勒级数模型建立光频和相位的微分方程,并通过求解微分方程获取光频的变化信息;根据所述光频的变化信息构造高阶正交基,并利用所述高阶正交基对测量干涉信号进行正交分解,以得到距离谱信息,根据所述距离谱信息求解得到待测距离值。本发明的技术方案,在复杂的测试环境下,仍可得到较好的残余非线性补偿效果,提升干涉测量的精度;此外,该方法不受快速大范围频率调制的限制,且对于中长距离范围的多普勒效应和非线性补偿仍然可以获得较好的效果。
技术关键词
平衡光电探测器
干涉测距方法
泰勒级数模型
波分复用器
干涉仪
扫频激光光源
耦合器
待测距离
求解微分方程
信号
非线性
激光器
光程
波长
采集卡
多普勒
采样点
隔离器
时间差