一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备及方法

本发明公开一种MEMS发声芯片吸附电压的检测设备及方法，涉及MEMS发声芯片技术领域，以解决现有技术中测试MEMS发声芯片吸附电压时效率低及成本高的问题。设备至少包括：探针台、电源、声学检测模块及控制模块；控制模块分别与探针台、声学检测模块及电源连接；探针台至少包括托盘和探针卡，控制模块控制探针台加载放置有MEMS发声芯片的托盘移动，使探针卡从MEMS发声芯片的目标位置接入；声学检测模块对MEMS发声芯片进行声学检测，得到声学检测数据，并得到数据分析结果；控制模块根据分析结果确定MEMS发声芯片的吸附电压；实现了利用声学检测的方法确定MEMS发声芯片的吸附电压，降低了成本，提升了效率。