一种晶圆传送系统

本发明公开了一种晶圆传送系统，该晶圆传送系统包括传送装置、检测装置和控制器；传送装置至少包括机械臂和至少两个晶圆工位；机械臂用于传送待传送晶圆；传送装置还包括至少一个晶圆盒载台；晶圆盒载台用于放置晶圆盒；检测装置包括分别设置于各晶圆工位的晶圆感测器；晶圆感测器用于对晶圆工位上待传送晶圆的放置状态进行检测，并输出晶圆感测信号；检测装置还包括分别设置于各晶圆盒载台的传感组件；传感组件用于检测晶圆盒载台上的晶圆盒的放置状态，并输出状态检测信号；控制器分别与各晶圆感测器、各传感组件和机械臂连接；控制器用于根据各晶圆感测器输出的晶圆感测信号，控制机械臂对各晶圆工位上的待传送晶圆的拾取状态。