WPE效应的局域失配模型及其提取方法

本发明提供一种WPE效应的局域失配模型的提取方法，包括：于晶圆内形成不同阱尺寸的器件结构；测量获取同一裸片中相邻器件结构的各参数的值，其中，参数包括线性阈值电压、饱和阈值电压、线性电流及饱和电流；计算各参数的失配率；建立与阱尺寸相关的局域失配模型；对局域失配模型的参数进行曲线拟合，直至拟合结果与器件结构的各参数的失配率相符。通过本发明解决了现有的模型未考虑不同阱尺寸对器件失配特性的影响的问题。