一种硅片烘干炉及烘干方法

本发明公开了一种硅片烘干炉及烘干方法，机架，所述机架的端部设置有驱动机构，通过驱动机构驱动网链经过机架内部的烘干箱，并且循环移动，位于机架的底部设置有网链除尘机构，网链循环移动至底部穿过网链除尘机构进行除尘，所述机架顶部设置有排废结构和燃烧塔，通过排废结构进行热气排出，通过燃烧塔排出烘干箱内的有机废气。本发明中的燃烧塔可以将有机废气燃烧更加充分，外排气体热交换冷却效率更高；网链也更加耐磨损；对于堆积在网链上的金属粉尘也可以有效的清除，而且无需停机清理。