摘要
本申请提供了一种光学集成芯片以及光学陀螺仪,光学集成芯片包括衬底以及光波导器件层,光波导器件层设于衬底。光波导器件层包括第一耦合器以及探测波导。第一耦合器包括光源波导以及与光源波导连接的第一波导、第二波导以及第三波导。第一波导用于连接第一干涉模块、第二波导用于连接第二干涉模块,第三波导用于连接第三干涉模块。探测波导包括与第一波导连接的第四波导,与第二波导连接的第五波导以及与第三波导连接的第六波导。第一波导、第二波导以及第三波导沿第一方向间隔设置,光源波导设于第一波导沿第二方向的一侧。将光学陀螺仪中的部分光学器件集成并芯片化,能够提高光学陀螺仪的集成度和稳定性,同时降低损耗以及装配的复杂度。
技术关键词
光学集成芯片
偏振分束器
光学陀螺仪
光波导器件
相位调制器
耦合器
探测器
光源
模块
衬底
元件
偏振光
介质
光学器件
二氧化硅
氮化硅
复杂度
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短波长
波导传输损耗
光子器件
飞秒激光器
偏振分束器
偏振光
偏振衍射元件
体全息元件
图像生成单元
眼动追踪装置
物理系统
相位调制器
信号探测器
毛细管
铝酸盐玻璃
微环谐振器
网络结构
网络单元
端口
电光相位调制器