光学集成芯片以及光学陀螺仪

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光学集成芯片以及光学陀螺仪
申请号:CN202411025200
申请日期:2024-07-25
公开号:CN119124126A
公开日期:2024-12-13
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种光学集成芯片以及光学陀螺仪,光学集成芯片包括衬底以及光波导器件层,光波导器件层设于衬底。光波导器件层包括第一耦合器以及探测波导。第一耦合器包括光源波导以及与光源波导连接的第一波导、第二波导以及第三波导。第一波导用于连接第一干涉模块、第二波导用于连接第二干涉模块,第三波导用于连接第三干涉模块。探测波导包括与第一波导连接的第四波导,与第二波导连接的第五波导以及与第三波导连接的第六波导。第一波导、第二波导以及第三波导沿第一方向间隔设置,光源波导设于第一波导沿第二方向的一侧。将光学陀螺仪中的部分光学器件集成并芯片化,能够提高光学陀螺仪的集成度和稳定性,同时降低损耗以及装配的复杂度。
技术关键词
光学集成芯片 偏振分束器 光学陀螺仪 光波导器件 相位调制器 耦合器 探测器 光源 模块 衬底 元件 偏振光 介质 光学器件 二氧化硅 氮化硅 复杂度
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