基于深度学习图像识别的镭射转移印刷方法及系统

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基于深度学习图像识别的镭射转移印刷方法及系统
申请号:CN202411028885
申请日期:2024-07-30
公开号:CN118864426B
公开日期:2025-02-11
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种基于深度学习图像识别的镭射转移印刷方法及系统,涉及图像识别领域,其方法包括:在当前的镭射转移印刷的图元工艺流程中,通过摄像头实时获取现场图像;在当前的图元工艺流程后,根据镍棍图元压膜流程得到的压膜图像进行镭射转移印刷,分别将现场图像通过第一深度学习模型进行图像识别,得到第一图像特征;根据第一图像特征,执行质量评估步骤,以生成每个图元工艺流程的质量评估报告;基于图像缺陷信息,调整窄带LED光源的波长与窄带LED光源的角度;将潜在缺陷信息和每个图元工艺流程的当前工艺参数输入第二深度学习模型,得到每个图元工艺流程的异常工艺参数;根据异常工艺参数调整当前工艺参数,得到更新后的工艺参数。
技术关键词
镭射转移印刷系统 深度学习模型 深度学习图像识别 LED光源 图像模糊程度 数据拟合模型 均匀性特征 图元 转移印刷方法 中控主机 光刻 可调光纤 灰度直方图 压膜 波长 缺陷类别 滑动窗口技术 参数 图案
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