一种多刺晶头的Mini-LED巨量转移装置及方法

本发明公开了一种多刺晶头的Mini‑LED巨量转移装置及方法，涉及Mini‑LED晶圆巨量转移技术领域。本发明的Mini‑LED巨量转移装置，包括基板运输单元、晶圆运输单元和刺晶单元；基板运输单元用于运输基板，使基板可作X轴向和Y轴向运动；晶圆运输单元用于运输晶圆，使晶圆作X轴向和Y轴向运动；刺晶单元包括刺晶头Z轴向移动机构、刺晶头调距机构和多个刺晶头；刺晶头Z轴向移动机构用于调节刺晶头在Z轴向的位置，刺晶头调距机构用于调节相邻刺晶头的间距，刺晶头用于将晶圆上的Mini‑LED芯片刺到基板上。本发的Mini‑LED巨量转移装置可使基板和晶圆在持续运动下完成Mini‑LED芯片转移，并可由多个刺晶头同时作业，具有转移效率高、可避免高频启停和运输机构振动小等优点，可实现飞行刺晶。