摘要
本发明公开了一种片上集成偏置电路和毫米波天线的光混频器芯片,涉及光芯片技术领域,包括脊波导和衬底,所述脊波导后端设置有有源吸收区;该芯片实现偏置电路和毫米波发射天线的单片集成,从封装的匹配电路和封装工艺上降低封装损耗,减少封装物料和封装工艺步骤,采用倏逝波导结构的光混频器芯片,解决了大带宽和响应度相互制约的矛盾,有源吸收区面积可以沿波导方向加长以增加响应度,同时也提高了饱和输出功率,片上集成了包含电阻、电容的偏置电路,实现直流信号和交流信号的耦合与隔离,为光混频器芯片提供直流偏压的同时,隔绝了毫米波信号在直流链路的传输,阻抗变换器实现芯片和毫米波发射天线的阻抗变换匹配,降低毫米波信号传输损耗。
技术关键词
偏置电路
混频器
阻抗变换器
发射天线
共面波导
波导结构
封装工艺
薄膜电阻
匹配电路
光芯片
电极
衬底
损耗
信号线
电容
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