一种栅极氧化物虚拟量测方法

本发明公开一种栅极氧化物虚拟量测方法，首先获取晶圆制造过程中的历史数据，对历史数据进行预处理；然后构建多层神经网络模型，采用预处理后的历史数据对多层神经网络模型进行预训练；最后将所需要的工艺参数变量或工艺过程中传感器数据变量输入预训练好的多层神经网络模型中，获得栅极氧化物的虚拟量测结果。本发明采用多模态的一维深度卷积神经网络，以工艺参数变量或是传感器数据变量作为输入的对栅极氧化物工艺结果的预测，同时将多种氧化衬底方法的参数输入模型中进行综合训练，实现了栅极氧化物参数的结果预测，可以大幅降低栅极氧化物工艺的量测需求。