摘要
本公开实施例提供一种芯片封装方法,包括:提供多个芯片,每个芯片形成有与其焊盘电连接的凸块,形成包裹多个芯片的第一塑封层,以形成第一芯片模组;形成重布线层,将多个芯片固定于重布线层,并在重布线层上形成包裹芯片的第二塑封层;在第二塑封层上形成多个与重布线层电连接的塑封体导电柱,以形成第二芯片模组;将多个第二芯片模组依次堆叠设置于基板,并将第一芯片模组堆叠至最上层第二芯片模组;其中,各芯片模组之间通过塑封体导电柱进行电连接。该方法可显著提升芯片封装结构的存储容量,且可减少堆叠层数,提高结构稳定性;通过塑封体导电柱可更好进行对位,显著降低对位精度要求,提高结构稳定性。
技术关键词
芯片模组
重布线层
芯片封装方法
导电柱
线路
芯片封装结构
基板
对位精度
包裹
凸块
晶圆
焊点
焊盘
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