芯片缺陷的检测方法以及系统

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芯片缺陷的检测方法以及系统
申请号:CN202411054070
申请日期:2024-08-02
公开号:CN118817719A
公开日期:2024-10-22
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片缺陷的检测方法以及系统,获取芯片的来料信号,并根据芯片的来料信号采集芯片图像;基于芯片图像划分芯片主体区域和芯片引脚区域;此时,根据芯片主体区域的区域识别而定义第一缺陷部分;根据芯片引脚区域的区域识别而定义第二缺陷部分,并针对第一缺陷部分以及第二缺陷部分进行整体把控,并引入了第一缺陷部分以及第二缺陷部分之间的相对距离的进一步管控,从而保证了缺陷等级,以便于基于缺陷等级以及芯片型号匹配对应的定位检测方式,实现了芯片的局部检测,保证了芯片的检测准确性以及检测效率。
技术关键词
信号采集芯片 定义 闭环 图像 长条形 轮廓 识别模块 参数 外形 场景
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