芯片内部时钟周期抖动测量装置、方法及芯片

本发明实施例公开一种芯片内部时钟周期抖动测量装置、方法及芯片，涉及半导体技术领域，便于提高芯片时钟周期抖动测量的准确性。所述装置包括：设置于芯片内部的基准信号生成单元和时间数字转换单元，所述基准信号生成单元，用于生成作为参考信号的时钟基准信号；时间数字转换单元，用于接收芯片内部产生的待测时钟信号，接收所述时钟基准信号，以及，计算所述待测时钟信号和所述时钟基准信号的相位差，所述相位差用于表征所述待测时钟信号周期抖动状况。本发明适用于集成电路中的时钟质量测试及评估场景中。