一种差压传感器及其制备方法

本发明公开了一种差压传感器及其制备方法，属于差压传感器技术领域，差压传感器包括传感芯片和微流体罩体，传感芯片包括芯片基底，芯片基底的正面和背面均安装有微流体罩体，微流体罩体设有导压孔，芯片基底上设有悬臂梁和允许流体通过的开口区域，单对悬臂梁之间具有流通间隙，单对悬臂梁中的一个上设有热式传感单元，热式传感单元包括加热模块和温度传感模块。制备方法包括：步骤a、芯片基底形成氮化硅薄膜；步骤b、溅射形成热式传感单元；步骤c、加厚电极厚度；步骤d、刻蚀悬臂梁形状；步骤e、刻蚀悬臂梁对应凹槽与器件分割图案；步骤f、深硅刻蚀；步骤g、键合。可以实现对流场差压信息的高灵敏、宽量程的稳定感知。