一种面向硬质材料激光加工任务的排产方法与装置

本申请提出了一种面向硬质材料激光加工任务的排产方法与装置，包括以下步骤：获取待加工晶锭数据与设备数据；以加工顺序决策、加工开始时间决策、加工结束时间决策以及设备分配决策作为决策变量，以最小化总加工时间作为优化目标，以晶圆加工顺序约束、设备占用约束、加工结束时间约束以及决策变量间的关系约束作为约束条件构建激光加工过程排产模型；对激光加工过程排产模型求解得到排产方案并对排产方案进行部署。本方案基于激光加工过程中的特殊性来制定符合晶锭重复加工特征的晶圆加工顺序约束以及符合资源共享与异质特征的设备分配决策，从而获取排产方案以提高激光加工的效率。