一种MEMS芯片离心动态过程可视化测试系统

本发明公开了一种MEMS芯片离心动态过程可视化测试系统，包括：旋转台，带动MEMS芯片的旋转；设置在旋转台上的直线滑轨副；固定镜架，固定在旋转台轴心处，用于固定第一镜面；第二镜面，反射MEMS芯片成像至第一镜面，第一镜面用于将第二镜面反射的成像发射至显微镜；显微镜，对成像进行放大；摄像仪，实施记录MEMS芯片受离心作用时内部结构件的位置变化；配重，保证旋转台的质心位于旋转台的轴心线上；两个双向导电的导环，间隔的布置在旋转台的旋转轴上，与MEMS芯片的电路板连接；两碳刷架，分别夹在两个导环上，与万用表配合实现MEMS芯片通断的测试。本发明可以观测MEMS芯片结构关键部件的运动过程和电连接特性。