一种玻璃基板镀膜蚀刻方法及系统

本发明涉及镀覆工艺的控制技术领域，具体涉及一种玻璃基板镀膜蚀刻方法及系统。该方法包括获取偏置环境数据和镀膜环境数据，结合粒子滤波算法数据分析得到温度噪音矢量、等离子体热传导矢量和加热温度矢量，进而实现基片初始温度的调整，得到调整温度，结合所有温度粒子的调整温度确定基片实时温度；基于基片实时温度生成控制电信号，基于控制电信号对基片表面温度进行调控，完成镀膜。本发明实施例能够结合温度噪音矢量、等离子体热传导矢量和加热温度矢量，确定当前时刻更准确的基片实时温度，进而提升玻璃基板镀膜控制的可靠性。