一种玻璃基板镀膜温度智能控制方法及系统

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一种玻璃基板镀膜温度智能控制方法及系统
申请号:CN202411066999
申请日期:2024-08-06
公开号:CN118581440B
公开日期:2024-10-08
类型:发明专利
摘要
本发明涉及镀膜温度控制技术领域,具体涉及一种玻璃基板镀膜温度智能控制方法及系统,包括:获取每个时刻下玻璃基板的红外灰度图像;根据红外灰度图像中像素点在局部范围内相邻行的灰度差异以及相邻列的灰度差异分布得到像素点的辐射相似因子;根据像素点的辐射相似因子和灰度值得到每个热辐射区域;根据热辐射区域的线性特征与加热过程中电阻丝的摆放方向之间的差异,得到热辐射区域的镀膜辐射匹配指数;根据红外灰度图像中所有镀膜辐射匹配指数的数据分布和波动情况,得到对应时刻的镀膜温度稳定指数;根据每个时刻的镀膜温度稳定指数对镀膜加热过程中的加热功率进行控制。本发明使得玻璃基板镀膜过程中的温度智能调控结果精度更高。
技术关键词
玻璃基板镀膜 温度智能控制方法 像素点 温度稳定 指数 因子 电阻丝 数据分布 粒子群优化算法 温度智能控制系统 线性 加热 温度智能调控 温度控制技术 图像采集模块 功率 关系
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