摘要
公开了一种MEMS麦克风模组和电子设备。该MEMS麦克风模组包括:MEMS麦克风芯片;麦克风ASIC单元;以及封装壳体,包括基板和金属帽,其中,麦克风ASIC单元包括:接收由MEMS麦克风芯片向麦克风ASIC单元输出的麦克风信号Vin的Vin端口;以及Vg端口,用于输出与Vin端口所输入的交流麦克风信号Vin等电位的Vg信号,其中,MEMS麦克风芯片包括:MEMS衬底;设置在MEMS衬底上的振膜;间隔件;通过间隔件与振膜间隔开的背极板,包括背电极;与所述Vin端口连接并输出所述麦克风信号Vin的Vin焊盘;接收来自于Vg端口的Vg信号的Vg焊盘;以及设置在Vin焊盘和MEMS衬底之间的屏蔽电极,其中,所述Vg焊盘电连接到所述屏蔽电极和所述金属帽。
技术关键词
麦克风模组
屏蔽电极
麦克风芯片
端口
单层金属结构
信号
衬底
间隔件
电子设备
基板
导电
壳体
电容
节点
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