晶盒运送系统、晶盒及晶盒运送方法

本发明涉及晶盒运送系统、晶盒以及晶盒运送方法，晶盒运送系统包括：晶盒(cassette)，容纳基板，并且包括第一结合装置；储料库(stocker)，包括装载所述晶盒的搁架(shelf)；以及索引端口(index port)，用于安置从所述储料库运出的所述晶盒，并且包括与所述第一结合装置结合的第二结合装置，其中，所述晶盒还包括调节所述晶盒的整体高度的高度调节装置，以及所述晶盒在被引入所述索引端口之前具有第一高度，且在被引入所述索引端口并且所述第一结合装置与所述第二结合装置相结合的情况下由于所述高度调节装置扩张而具有第二高度。