一种多晶硅铸锭炉二次加料控制方法及加料装置

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一种多晶硅铸锭炉二次加料控制方法及加料装置
申请号:CN202411081909
申请日期:2024-08-08
公开号:CN118600550B
公开日期:2024-10-15
类型:发明专利
摘要
本发明涉及坩埚加料技术领域,尤其涉及一种多晶硅铸锭炉二次加料控制方法及加料装置,本发明通过温度传感器实时监控熔体温度及热场状态,确保了加料量和加料速度的动态调整与熔体温度的精确匹配,提高了温度控制的精度,有利于形成高质量的多晶硅材料,本发明利用实时动态规划方法自动化计算并调整二次加料量,实现了加料过程的智能化,减少了人为干预,降低了操作误差。
技术关键词
二次加料装置 加料控制方法 多晶硅铸锭炉 熔体 真空压力传感器 坩埚 模糊集合 温度传感器 闸板阀 动态规划方法 模糊控制算法 真空度 机器学习模型 速度 加料控制系统 模糊规则 主成分分析方法 料仓
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