摘要
本发明涉及坩埚加料技术领域,尤其涉及一种多晶硅铸锭炉二次加料控制方法及加料装置,本发明通过温度传感器实时监控熔体温度及热场状态,确保了加料量和加料速度的动态调整与熔体温度的精确匹配,提高了温度控制的精度,有利于形成高质量的多晶硅材料,本发明利用实时动态规划方法自动化计算并调整二次加料量,实现了加料过程的智能化,减少了人为干预,降低了操作误差。
技术关键词
二次加料装置
加料控制方法
多晶硅铸锭炉
熔体
真空压力传感器
坩埚
模糊集合
温度传感器
闸板阀
动态规划方法
模糊控制算法
真空度
机器学习模型
速度
加料控制系统
模糊规则
主成分分析方法
料仓
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