基板处理装置以及基板处理方法

本发明涉及基板处理装置以及基板处理方法，更详细地涉及在按照基板或者按照基板工艺安放所述基板的基座的倾斜角度或者倾斜方向发生变化的情况下也能够将所述基板准确地安放于所述基座的中央部的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具备：腔室，提供对基板的处理空间；基座，设置于所述腔室内部，并被安放所述基板且加热所述基板；机械臂，将所述基板安放到所述基座或将所述基板从所述基座取出；倾斜调节单元，调节所述基座的倾斜；以及控制部，控制所述倾斜调节单元的驱动，并对应于所述基座的倾斜而校正通过所述机械臂在所述基座安放所述基板的位置。