一种近紫外高精度高功率直写光刻镜头

本发明公开了一种近紫外高精度高功率直写光刻镜头，包括镜头壳体，所述镜头壳体设有入射口、出射口、反射口，以及位于其内部设有反射组件，位于镜头壳体外侧对应反射口的位置设有DMD芯片，出射口的位置设有成像部，所述成像部共包括九片透镜，所述九片透镜自物面至像面依次为：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜以及第九透镜，第一透镜的焦距为f1，所述第二透镜的焦距为f2，所述第三透镜的焦距为f3，所述第四透镜的焦距为f4，所述第五透镜焦距为f5，所述第六透镜焦距为f6，所述第七透镜的焦距为f7，定义所述第八透镜的焦距为f8，定义第九透镜焦距f9，通过本发明中的透镜结构应用在直写光刻镜头中具有高功率、高精度、均匀性好，且满足低畸变的特性。