一种声表滤波器的压电晶圆切割方法

本发明公开了一种声表滤波器的压电晶圆切割方法，包括以下步骤：S1、提供一个压电晶圆，压电晶圆的正面设置了若干个离散的金属叉指电路；S2、在压电晶圆的正面涂抹保护胶，保护胶将对应的金属叉指电路覆盖；S3、在压电晶圆的背面贴覆一层背面保护膜；S4、将压电晶圆放置在切割台上固定，利用切割刀从压电晶圆的正面进行直线切割形成井字形的切割槽，该切割槽的切割面具有一个与压电晶圆的正面相连的将声波朝背面反射的功能面；该切割槽将压电晶圆和金属叉指电路分割成为若干个独立的裸芯片；S5、去除每个裸芯片正面的保护胶和背面保护膜。该切割方法得到的声表滤波器能够减少从边缘反射回的能量。