摘要
本发明涉及一种DRAM近存封装结构及其封装方法,包括:基板;晶圆,设置在基板上;引线,分别连接基板和晶圆;其中,晶圆上形成刻蚀;引线一端连接晶圆上刻蚀位置,引线另一端连接基板。晶圆包括第一芯片和混合键合在第一芯片上的第二芯片;其中,第一芯片为逻辑芯片或内存芯片;第二芯片不同于第一芯片,混合键合在第一芯片上;其中,当第一芯片为逻辑芯片时,第二芯片为内存芯片;当第一芯片为内存芯片时,第二芯片为逻辑芯片。解决了现有方案中封装方法成本较高,制备的封装结构中硅通孔对封装结构的设计和应力都会产生影响,也会限制片间传输宽带的问题。
技术关键词
芯片
封装结构
金属垫
封装方法
晶圆
引线
基板
内存
逻辑
通孔
应力