微波热处理装置以及阻抗匹配方法

本发明公开了一种微波热处理装置以及阻抗匹配方法，阻抗匹配方法包括：基于针对热处理工艺的预先匹配数据而初步调整所述微波电源和所述腔室之间的调谐器电路的阻抗的步骤；通过所述初步调整的所述调谐器电路从所述微波电源朝向所述腔室施加微波电力的步骤；测定与被施加所述微波电力的所述腔室的阻抗相关的工艺数据的步骤；通过比较所述工艺数据和所述预先匹配数据而确定所述调谐器电路的阻抗调谐值的步骤；以及根据所述阻抗调谐值调整所述调谐器电路的阻抗的步骤。