压电式快速倾斜镜建模方法

压电式快速倾斜镜建模方法，解决了如何对压电式快速倾斜镜在较宽频率范围内精确建模的问题，属于压电式快速倾斜镜的宽频域建模领域。本发明建立FSM系统模型采用由系统延迟模型、率相关迟滞模型和线性动力学模型组成的串联结构，综合考虑了系统延迟和迟滞非线性，能够在较宽的频率范围内精确描述压电式快速倾斜镜动态特性；另一方面，本发明率相关迟滞模型包括率无关迟滞模型和率相关项，由于其率相关项，能够描述更多能精确建模的系统动态特性，并可以通过构建基于率相关迟滞逆模型的前馈逆补偿方法有效地减轻系统动力学的影响，从而提高系统的整体性能。