一种集成电路芯片缺陷检测方法及系统

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一种集成电路芯片缺陷检测方法及系统
申请号:CN202411110222
申请日期:2024-08-14
公开号:CN118641555B
公开日期:2024-10-22
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种集成电路芯片缺陷检测方法及系统,该方法通过获取预设角度光照下的集成电路芯片的标准图像,并将标准图像转换为灰度图,依次标记出灰度图中代表引脚的第一区域,代表芯片本体的第二区域,以及代表字符的第三区域;获取待检测集成电路芯片的图像,根据第一区域、第二区域以及第三区域各自的区域位置与区域位置内的像素值,确定目标第一区域、目标第二区域以及目标第三区域;判断待检测集成电路芯片的图像朝向是否需要校正;若是,则将待检测集成电路芯片的图像朝向进行校正,得到目标图像,并对目标图像进行缺陷识别;将识别到的缺陷标记出,确定缺陷标记位置,并推送给用户,以帮助用户排查导致芯片损伤的原因。
技术关键词
检测集成电路芯片 像素点 缺陷检测方法 图像 标记 校正 字符 识别方法 代表 缺陷检测系统 光照 判断缺陷 序列 处理器 外延 识别模块 可读存储介质
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