带减震器件的键合工具

本发明提供了一种带减震器件的键合工具，具有两根在铅垂方向串联的弹性系数都为K的弹簧A与弹簧B，在弹簧A与弹簧B之间连接配重块，弹簧B的下方连接键合头，键合头的下方能够拾取或者释放芯片，键合头的一侧或两侧滑动连接在键合轨道上。优选配重块为质量相同、自由状态时高度与其相同的减震器。本发明使得键合头拾取芯片或键合芯片时，对底部芯片的冲击力减小，键合头的回弹减小，达到保护芯片的目的。