降低数据采样率的叠层成像方法及装置

本申请涉及一种降低数据采样率的叠层成像方法及装置，其中，方法包括：利用粒子束扫描样品，以采集满足预设采样率条件的衍射数据；使用满足第一预设条件的倒空间矩阵和满足第二预设条件的倒空间像素尺寸，初始化样品势函数和束斑函数；将算法得到的衍射数据的像素进行合并，再与实验衍射数据计算损失函数；如果损失函数未收敛至目标值，则对初始化后的样品势函数和束斑函数进行优化，得到优化后的样品势函数和束斑函数。重复上述操作，通过计算迭代过程以得到高质量叠层成像结果。由此，解决了叠层成像方法相对其他成像方法显著更长的数据采集时间的问题。