一种激光开槽槽型调试方法及系统

本发明涉及一种激光开槽槽型调试方法及系统，旨在提高激光开槽工艺的精度和效率，尤其适用于半导体制造领域。该方法通过晶圆识别、特征提取、槽型特征输入、激光参数设置、光斑调整、开槽和检查步骤，实现激光开槽过程的自动化、智能化调试，提高开槽质量和生产效率。通过引入粒子群优化算法PSO和卷积神经网络CNN等先进技术，本发明不仅能够自动优化激光参数，保证槽型的高质量和一致性，还能够实现对光斑的精确调整和槽型的实时检测和评估，从而全面提升激光开槽工艺的整体水平。