摘要
本发明公开了一种芯片测试分选装置的校准测试系统,涉及半导体分选技术领域,所述系统包括:实时路径采集模块,用于部署实时位置传感器,获取实时路径位置信息;速度信息提取模块,用于交互装置动作控制端,获取路径速度信息;定位比对校准模块,用于基于路径速度信息获取理想路径位置信息,与实时路径位置信息进行比对校准;图像采集校准模块,用于获取标准芯片,用校准后的装置采集图像,获取标定芯片图像,进行图像采集校准;分选判别优化模块,用于获取典型芯片系列,进行典型检测测试,基于结果优化分选判别,优化后的装置用于芯片测试分选。进而达成提高校准效率,提供自适应校准周期,提高分选质量的技术效果。
技术关键词
测试分选装置
校准测试系统
芯片
控制点
典型
实时位置
瑕疵
速度
误差模型
模块
图像配准
系列
预测误差
图像采集组件
传感器
误差预测
分段