一种含有薄膜铌酸锂多功能芯片的全集成光学陀螺

本发明公开了一种含有薄膜铌酸锂多功能芯片的全集成光学陀螺，属于全集成光学陀螺技术领域。包括薄膜铌酸锂多功能芯片，薄膜铌酸锂多功能芯片包括耦合器，起偏器，调制器和椭圆波导环，耦合器、起偏器、调制器和椭圆波导环通过薄膜铌酸锂波导进行连接，并集成在全片上。本发明中的薄膜铌酸锂多功能芯片能够进行光的分束、起偏、相位调制、环内干涉等功能，陀螺可实现中高精度导航、姿态测算等功能。所述的含有薄膜铌酸锂多功能芯片，起偏效果达到了40dB，调制效率达到0.9V·cm，波导环传输损耗小于0.25dB/m，探测器耦合效率80%以上。具备规模化、批量化生产的潜力，有助于降低集成光学陀螺系统的整体成本。