一种高温差压传感器

本发明公开了一种高温差压传感器，包括外壳、设于外壳内的应力传感芯片、以及与应力传感芯片相连接的信号调理放大电路，外壳的一侧设有引压接头，外壳的另一侧设有防护套，引压接头内部开设有高压引压口，防护套的一侧开设有低压引压口，应力传感芯片通过电子束焊接在引压接头上，应力传感芯片包括从下至上依次设置的弹性不锈钢膜片、绝缘层、应变电阻以及焊接层，利用离子束溅射技术，将绝缘层、应变电阻及焊接层以离子形式沉淀在弹性不锈钢膜片上。本发明属于传感器技术领域，具体是提供了一种高温差压传感器，用于解决现有压差传感器对于高温、高压承受效果不够好，影响检测效果的问题。