半导体机台数据异常检测方法、装置及计算机设备

本申请涉及一种半导体机台数据异常检测方法、装置及计算机设备，根据机台样本数据，计算机台样本数据对应的距离相似度矩阵；将机台样本数据输入初始异常检测模型，确定机台样本数据对应的注意力权重矩阵；根据距离相似度矩阵和注意力权重矩阵，确定初始异常检测模型的目标损失函数；根据机台样本数据以及目标损失函数，训练初始异常检测模型，直到目标损失函数收敛到预设数值区间，得到训练好的异常检测模型；获取待检测机台数据；将待检测机台数据输入至训练好的异常检测模型，确定待检测机台数据中的异常数据；基于目标损失函数，能够提高初始异常检测模型的性能；基于训练好的异常检测模型，能够有效提高异常检测的准确性以及可靠性。