一种热式传感器测试方法

本发明涉及一种热式传感器测试方法，属于微机电传感器技术领域，包括如下步骤：步骤1、将热式传感器放置烘箱中，保持恒定温度；步骤2、温度稳定后，采用测试装置测量热敏电阻阻值；步骤2.1、热敏电阻连接切换开关，并将切换开关的两端分别与万用表两端连接，切换开关的两端分别为S1端和S2端，通过万用表测出热敏电阻的阻值为R0；步骤2.2、将切换开关的两端与电源连接，通过电源给热敏电阻两端加电压，所加电压可为V0；步骤2.3、保持设定时间后，再将切换开关的两端分别与万用表两端连接，本发明在室温条件下，在微热源两端施加从低到高的阶梯式的电压值，测试微热源施加电压前后的阻值变化，实现快速且有效的评估传感器敏感薄膜的可靠性能。