一种用于晶圆检测的路径规划方法、装置、设备及介质

本发明实施例提供了一种用于晶圆检测的路径规划方法、装置、设备及介质，该方法包括：确定相机对晶圆所采集图像的有效区域；根据被测对象在有效区域的情况，以被测对象为基准单元进行视场规划，获得晶圆的待检测区域所对应的至少一个目标视场；对各目标视场进行路径规划，获得对待检测区域进行检测的目标规划路径。区别于现有技术中在对晶圆进行检测时以晶粒为基准单元进行规划需要进行多个视场的拍照才能拼接出一个完整的晶粒，导致算法计算复杂且影响晶圆检测效率；利用该方法，以晶粒下更细微粒度的被测对象为基准单元进行视场的拍照，能够有效降低相机的拍照次数，保证了视场下被测对象的完整性，提升了计算性能以及检测效率。