芯片电性检测装置及其制作方法

本发明提供一种芯片电性检测装置及其制作方法。芯片电性检测装置包括结构强化模块、电性检测模块以及柔性缓冲结构。电性检测模块包括探针承载基板、多个电性检测结构以及多个电性连接结构。柔性缓冲结构包括柔性缓冲材料层。结构强化模块、电性检测模块以及柔性缓冲结构相互配合以构成芯片电性检测装置。探针承载基板设置在柔性缓冲材料层上。多个电性检测结构设置在探针承载基板上且分别电性连接于多个电性连接结构。借此，探针承载基板可以被配置以允许通过柔性缓冲材料层的柔性承载而处于允许被微幅调整位置的状态，以使得每一个电性检测结构可以被配置以允许随着探针承载基板而处于允许被微幅调整位置的状态。