摘要
本发明公开了一种清洗系统及方法,涉及多晶硅还原炉技术领域,该系统包括:控制清洗台,用于承接清洗待清洗产品后的废液和支撑待清洗产品;清洗部件,用于清洗待清洗产品;视觉反馈装置,用于获取待清洗产品的画面信息;控制系统,用于对视觉反馈装置反馈的信息进行分析,并根据分析结果向调整装置发送控制信号;调整装置,用于根据控制信号带动清洗部件运动。本发明通过提升装置自动化运行水平,降低了操作人员现场操作频次,节省了人力。
技术关键词
视觉反馈装置
清洗系统
图像处理模型
多晶硅还原炉钟罩
多晶硅还原炉技术
控制系统
清洗液
运动
清洗台
画面
视觉相机
喷头
速度
高压
网格
清洗方法
丝杠
提升装置
信号
图片