摘要
本申请提供一种芯片封装结构及芯片封装方法,包括玻璃基板、走线层、第一重布线层、芯片层及第二重布线层。在垂直于玻璃基板的方向上,第一重布线层的高度为8μm~12μm,且第一重布线层中的相邻导电走线之间的间距为1.5μm~2.5μm,相对于重布线层与硅中介层的组合结构而言,第一重布线层具有更高的线路集成度和更小的线路尺寸。通过高集成的第一重布线层实现芯片层与玻璃基板的电连接,有效减小结构高度,从而可以受设备高度限制的影响,批量制作芯片层,有效提高生产效率。同时,相对于重布线层与硅中介层的组合结构而言,采用第一重布线层实现芯片层与玻璃基板的电连接,还可以有效缩短信号传输路径,降低信号损失的风险。
技术关键词
玻璃基板
布线
芯片封装结构
芯片封装方法
衬底
导电球
种子层
凸点
通孔
传输路径
间距
线路
批量
信号
风险