设备前端装置、液材涂布方法及设备

本发明提供一种设备前端装置、液材涂布方法及设备；该设备前端装置，在同一机台上设有：一装卸单元，设于该机台的一侧；一取放单元，设于该装卸单元的一侧；该取放单元设有一机械臂模组于一驱动模组上，该驱动模组可驱动该机械臂模组沿一第一轴向移动；一处理单元，设于该取放单元相对该装卸单元的另一侧；该处理单元设有一工件预热站及一工件回温站；借此可对工件进行液材涂布前、后的处理。