一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法

本发明涉及芯片检测装置技术领域，尤其是涉及一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法，包括底座及可拆卸安装在底座上的盖板，所述底座和盖板之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体，所述盖板上设置有用于检测芯片的探针，还包括压缩机、第一储气瓶、第二储气瓶和至少一个涡流管制冷器，所述压缩机的输出端与涡流管制冷器的涡旋室连通，所述涡流管制冷器的冷端与第一储气瓶连通，使用时，通过压缩机、涡流管制冷器、第一储气瓶和第二储气瓶配合，在第一储气瓶和第二储气瓶内存储所需温度的气体，并通过控制第一阀门和第二阀门向口腔体内输送所需温度气体，满足多种温度的检测要求，提高检测效率，降低了检测成本。