一种空篮检测对接装置

本发明提供了一种空篮检测对接装置，属于硅片生产制造领域，包括空篮篮齿检测回流线和空篮外形检测流线；空篮外形检测流线布置在空篮篮齿检测回流线的下游；其中，在空篮篮齿检测回流线的上方布置用于对空篮篮齿检测的线扫相机，在空篮外形检测流线的上方布置用于对空篮外形检测的面阵相机。对接段花篮转运模块，对接段花篮转运模块采用机器人或设置在机架上的顶置空间移动的夹爪，用于空花篮的空间转运。本申请的对接装置，可以兼顾后续工段空花篮向上游转运前的检测，且空篮回流自动化程度高，增设空篮质量检测工序，保证了空花篮的外观质量，便于在硅片制造加工领域推广应用。