一种消扫描角度色散自修正焦点扫描超透镜的设计方法

本发明提供了一种消扫描角度色散自修正焦点扫描超透镜的设计方法，属于超表面光学元件设计技术领域，包括：通过扫描参数的方式构建人工原子库；根据人工原子库，基于超表面的相位分布设计得到级联超透镜；通过全波仿真与实验验证测试所述级联超透镜的功能，分别得到全波仿真结果与实验验证结果；判断全波仿真结果与实验验证结果的一致性，得到基于级联超表面的消扫描角度色散自修正焦点扫描超透镜结构。本发明采用上述方法设计得到的超透镜，在扫描过程中能够自动修正轴向的离轴误差，提高了三维扫描系统的准确性和稳定性，为激光切割、打标、激光快速成型、三维应用等领域中的设备和工艺提供了更高的效率。