光学芯片结构及其制备方法、电子设备

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光学芯片结构及其制备方法、电子设备
申请号:CN202411386427
申请日期:2024-09-29
公开号:CN119208295A
公开日期:2024-12-27
类型:发明专利
摘要
本公开涉及一种光学芯片结构及其制备方法、电子设备,包括:衬底;介电层,位于衬底上;金属层,位于介电层上,金属层包括目标子金属层,目标子金属层位于金属层顶部的目标位置处,目标位置为与光学芯片结构所需的目标通孔对应的位置;介质层,位于金属层上,介质层包括目标通孔,目标通孔位于目标位置处且暴露出目标子金属层;阻挡层,位于介质层上,目标通孔内。本公开至少能够避免在制作上下层金属连接的通孔时,金属层淀积至通孔中导致通孔连接异常。
技术关键词
芯片结构 阻挡层 连线层 通孔 介质 介电层 衬底 多层结构 平坦化工艺 电子设备 光刻胶层 上下层 气象 掩膜
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