摘要
本发明属于热膨胀材料技术领域,公开一种负热膨胀材料KxMgxLu2‑xW3O12及其制备方法和应用。分子式为KxMgxLu2‑xW3O12。制备方法:选择K2CO3、MgO、Lu2O3和WO3作为原料,按照摩尔比K2CO3∶MgO∶Lu2O3∶WO3=(x/2)∶x∶(1‑x/2)∶3称重并研磨混合均匀,将得到的混合粉末直接烧结或者压片后烧结,烧结温度为900~1200℃、时间为6~24h,冷却至室温,得到目标产物KxMgxLu2‑xW3O12。一种负热膨胀材料作为半导体在集成电路或芯片制造领域中的应用。本发明首次提出了分子式为KxMgxLu2‑xW3O12的负热膨胀材料,负热膨胀系数覆盖‑7.61×10‑6~‑10.6×10‑6 K‑1,兼具良好的热稳定性,同时制备工艺简单,成本低,适合于工业化生产,可望在生物医用材料、航空航天装备、精密仪器等高技术领域获得应用;此外,本发明KxMgxLu2‑xW3O12可以作为宽带隙半导体,应用在集成电路和芯片制造领域。
技术关键词
负热膨胀材料
压片
负热膨胀系数
航空航天装备
集成电路
宽带隙半导体
生物医用材料
精密仪器
粉末
芯片
磨具
干法
乙醇
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