快速退火模拟参数调优方法、装置、计算机设备、存储介质

本申请涉及一种快速退火模拟参数调优方法、装置，通过获取碳化硅参数文件；解析所述参数文件，读取并整理所述参数文件中的系统参数信息；将所述系统参数信息输入图注意力网络模型GAT，形成初步升温方案；结合历史数据及工艺需求，生成最终升温方案；输出碳化硅退火结果。解决了现有退火过程依赖于经验性设定，难以在不同材料与工艺条件下找到最优解，无法适应现代生产需求，限制了材料性能的提升及效率优化的问题，实现了不仅能够提高退火工艺的精度和效率，还能根据实际工艺需求和历史数据，提供定制化的优化方案，满足不同用户的需求的技术效果。