用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质

本申请涉及扫描电子显微镜技术领域，公开了一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质。所述方法包括：采集扫描电子显微镜的样品仓内的图像数据流；对所述图像数据流中相邻的两帧图像进行帧间差分，以获得前景像素；对相邻的两帧图像中的后一帧图像进行清晰度检测，以获得聚焦区域；筛选所述前景像素中位于所述聚焦区域内的目标运动像素；以及基于所述目标运动像素和目标位置之间的距离进行所述扫描电子显微镜中碰撞监测。利用本申请的方案，可以确定准确的运动目标，提高碰撞检测的精度。