一种芯片清洗和缺陷检测集成设备及其检测方法

本发明涉及芯片缺陷检测设备技术领域，具体涉及一种芯片清洗和缺陷检测集成设备及其检测方法，该设备包括机架、上料机构、搬运机构、端面检测机构、背面检测机构、清洗机构、正面检测机构、正面复检机构、金线检测机构和下料机构；上料机构、端面检测机构、背面检测机构、清洗机构、金线检测机构和下料机构沿横向依次设置于机架上，且均能够沿纵向滑移；搬运机构架设在机架上，且能够在机架上沿横向滑移；搬运机构的吸嘴能够沿竖向升降；正面检测机构设置于端面检测机构的上方；清洗机构包括清洗台、清洗器和端面复检机构；清洗台沿纵向滑动设置于机架上；清洗器和端面复检机构对应设置于清洗台的侧方；正面复检机构设置于清洗台的上方。